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碳化硼(B4C)靶材
來(lái)源:廣州昊諾實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
發(fā)布日期:2019-05-07
碳化硼(B4C)靶材
靶材簡(jiǎn)介:
簡(jiǎn)單的說(shuō),靶材是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
靶材參數(shù):