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氧化物

VO2薄膜材料

來源：廣州昊諾實驗室設(shè)備有限公司發(fā)布日期：2019-05-05

利用RF-oxygen MBE制備的VO2/Al2O3外延薄膜相變前后電阻變化率2~6萬倍，2英寸大小，表面平整，性質(zhì)均一，適合大口徑紅外探測器或者THz器件的制作。

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